Ахмедов А, Турсунов А, Тошбобоев Ш. ВЛИЯНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА СОСТАВ, СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР. ibet [Internet]. 2023 Jun. 22 [cited 2026 Jun. 21];3(6):252-7. Available from: https://www.internationalbulletins.com/intjour/index.php/ibet/article/view/853